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單硅片壓力傳感器的校準方法

更新時間:2024-03-26 點擊次數:1560
單硅片壓力傳感器的校準方法:
零點校準:
手動校準:通過調節(jié)微調電位器對傳感器進行零點校準,并使用萬用表驗證。
軟件校準:使用相應的軟件對傳感器進行零點校準。
機械校準:通過機械方法對壓力傳感器進行零點校準,例如調整傳感器殼體位置。
滿度校準:
手動校準:設定相應的壓力值并進行調節(jié),使傳感器輸出對應的電壓值等于壓力值。
機械校準:通過微調傳感器感受元件的結構或調整機械部件的位置,達到校準所需值。
線性校準:按照設定的校準點,在不同壓力下進行校準,記錄每個校準點的設定值和傳感器輸出值。
計算誤差:根據實際測得的傳感器輸出值和設定的校準值,計算出每個校準點的誤差值。通常以百分比或壓力單位表示。
調整校準參數:根據計算得到的誤差值,調整校準裝置的校準參數,這通常包括增益和偏移量兩個參數。
重復校準:重復執(zhí)行零點校準、滿度校準、線性校準等步驟,直至校準結果滿足要求。根據實際情況,可以調整校準點和校準參數。
校準記錄:記錄校準點、校準參數、誤差值等信息,以便后續(xù)參考和比較。

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